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第10章10

苏芊给这些科研人员讲解完之后。 </p>

他开始安排工作。 </p>

“你们三个,负责光刻机的透镜编排,需要光学方面的理论,我看过你们的资料,曾经修过光学的课程。” </p>

“是,苏工!” </p>

光刻机的光线不是直射来雕刻,而是需要多个镜片的折射,一边弱化一边加强。 </p>

当极紫外光控制到最合适的波段时,在雕刻到晶圆上! </p>

这一步至关重要。 </p>

“你们几位负责液态金属锡的滴落路线计算,一定要确保光脉冲可以集中锡滴!” </p>

“是,苏工!” </p>

…… </p>

他和杨平一起安排了分工之后,就开始了正式工作。 </p>

很快,光刻机的内部硬件已经组装完毕。 </p>

又过了几天,光刻机已经成型。 </p>

他们开始了第一次芯片制造的测试。 </p>

“第1次芯片生产实验,启动!” </p>

一声令下,晶圆被机械臂吸起来进入了机器。 </p>

然而还没等大家核算数据,机器突然黑屏。 </p>

“报告,液态金属锡未被集中,滴落面板导致短路!” </p>

实验显然以失败告终! </p>

大家并没有气馁。 </p>

因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的! </p>

很快,第二次实验开始。 </p>

“报告,光刻波长控制异常,导致晶圆损毁!” </p>

第三次。 </p>

“报告,芯片良率太差!” </p>

第四次…… </p>

第五次…… </p>

经过很多次失败之后,日子平静了下来,实验变成了常态。 </p>

当然一次次的失败,距离成功也愈来愈近! </p>

几天后。 </p>

研究院的工作人员早早的前来上班工作。 </p>

他们几个是半导体专业的高级工程师。 </p>

正式因为极紫外光刻机的项目,都聚集到了这里。 </p>

大家对苏芊都早有耳闻。 </p>

只不过大家都不看好这个年轻的工程师。 </p>

但凡是知道苏芊的,都知道他是占了杨院士的光。 </p>

他们认为,苏芊能在这个年纪拥有现在的成绩和地位,都是因为院士的偏心和照顾。 </p>

或许是背景,或许是关系户。 </p>

可是,能有什么办法呢? </p>

在任何行业或任何领域,大家都离不开关系。 </p>

今天他们早早的来到了实验室,想要表现一番。 </p>

但是当他们进入实验室后,却骇然的发现净室居然没有上锁! </p>

这要是有什么人误闯入这里,里面的光刻机材料都会报废的! </p>

要知道,光刻机的任何部件都必须在非常苛刻的环境里来完成的。 </p>

很简单。 </p>

光刻机惧怕灰尘和光线。 </p>

首先,一粒灰尘的大小是数百微米。 </p>

什么概念? </p>

一微米是1000纳米! </p>

而光刻机工作的时候,是要用纳米光束来雕刻! </p>

但凡有一粒灰尘,都会直接让实验中断! </p>

光线就更别提了! </p>

极紫外光刻机就是分离出了赤橙黄绿青蓝紫的紫光。 </p>

因为紫光波长最短! </p>

有别的光,很容易会干扰雕刻的进行! </p>

所以一定要在规定的环境之内才能完成! </p>

而净室没有上锁,这就很可能让人误打误撞进入这里。 </p>

那后果将不堪设想。 </p>

于是几个高级工程师急忙换上防尘服,通过清洁检测之后进入了净室。 </p>

然而眼前的一幕让他们惊讶。 </p>

因为苏芊和杨院士在里面! </p>

大家都面面相觑。 </p>

这是什么情况? </p>

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