自从滚磨机制作完成之后,晶圆厂的精度就从提拉单晶硅柱,变成了分段滚磨。 </p>
很快就有数十个单晶硅段已经滚磨完成,等待着多线切割机,将单晶硅段切片。 </p>
接下来的几天,苏芊每天都在实验室进行着机器的组装。 </p>
多线切割机、倒角机、精磨机、刻蚀机…… </p>
苏芊每天都会加班,一台台机器按照图纸成功完成。 </p>
滚磨好的单晶硅段被切片,然后通过机械打磨,让表面平整,并且将厚度减到775微米。 </p>
随后利用倒角机,将边缘做成直角。 </p>
紧接着用精磨机再次去除10微米左右的厚度。 </p>
最后放入刻蚀机中,进行杂质的溶解。 </p>
这就是目前晶圆片所能到的步骤。 </p>
不过想要正式放入光刻机之中,还需要两步。 </p>
首先是化学机械抛光,然后是涂抹光刻胶。 </p>
今天的任务就是给晶圆片抛光! </p>
此时抛光机已经正式完工! </p>
正在进行通电的实验! </p>
“报告,电压正常,各个零部件之间没有坏损。” </p>
“启动成功!” </p>
连接上电源,机器一次性点亮! </p>
所有人都欢呼了一声。 </p>
“总算搞定了,这样的话,明天到了净室,就可以进行加工试验了!” </p>
“是啊,要是明天的实验可以成功,我们的项目就是大功告成!” </p>
“一定没问题的!” </p>
“嘘,你们看,苏工又出去了!” </p>
“十点了,肯定又是给女朋友汇报工作去了!以后一定是个妻管严!” </p>
“鬼扯,这叫做贴心顾家有责任心!!每天给女朋友报平安,有这样的男友真让人安心!” </p>
“是啊,苏工这几天打电话时间越来越长了!” </p>
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